TM3030 型扫描电子显微镜一、用途Hitachi TM3030型扫描电子显微镜(SEM)向来被广泛用于生物、材料、化学、物理等各种不同领域的表面观察和分析。但是由于SEM的局限性,使用者需要花费大量时间在样品制备和电镜的操作上。为此,日立在原有的,已受到广泛好评的TM-1000的技术上,精益求精,研发出结构更紧凑、功能更齐备、操作更简便的TM-3000台式扫描电子显微镜。通过简单的操作,即可达到观察微观世界的目的。二、技术规格项 目内 容放大倍率15X~30,000X(数字放大:2X、4X)观察模式标准模式、减轻荷电模式、大束流分析模式图像模式形貌像、成份像、阴影像1、阴影像2、凹凸像电子光学系统电子枪预对中发夹型钨灯丝加速电压5kV、15kV 、EDX透镜系统3级电磁式透镜会聚系统电位移±50μm (WD=4.5mm、观察条件:标准模式)能谱分析位置WD=10mm, TOA=35°样品台样品台控制2轴手动样品台样品可移动范围X:±17.5mm、Y:±17.5mm*大样品尺寸直径70mm*大样品厚度50mm检测器高灵敏4分割半导体背散射电子检测器真空系统自动控制系统全自动气动阀控制系统*高真空度1.5×10-5Pa可变真空度6~270Pa(22steps)涡轮分子泵30L/s 1台隔膜泵1m3/h 1台真空计1台自动功能自动灯丝饱和已配备自动电子束设定已配备自动电子枪对中已配备自动合轴已配备自动聚焦、消像散已配备自动亮度、对比度已配备自动保护功能带有过电流保护功能、漏电遮断器计算机控制系统操作系统Microsoft Windows® 7CPUIntel® CoreTM2 Duo P8700(或与其兼容的PC)内存容量2GB以上接口与端子USB2.0接口(2个)、网路接口(以太网)观察15.4英寸LCD;屏幕分辨率1280×800像素控制鼠标、键盘扫描速度TV扫描640×480象素显示,25帧/秒快速扫描全屏显示,6.3帧/秒慢速扫描全屏显示,1/4/20/40/80秒/帧640×480像素显示,0.5/2/10/20/40秒/帧图像数据存储图像存储像素640 × 480、1,280 × 960像素图像数据保存PC带硬盘及其他记录媒体图像存储格式BMP、TIFF、JPEG图像信息微标尺、微值、放大倍率、日期、时间、图像编号、注释、观察条件、观察模式、图像模式、工作距离辅助功能图像旋转、简单测量、三维动画维护指南使用环境室温15°C ~30°C相对湿度40%~70%电源单相AC100~240V(*低90V、*高250V) 50/60Hz、3P插座地线D类接地,电阻小于100Ω体积与重量主机330(长)×606(宽)×565(高)mm、63.0Kg(manual stage)330(长)×630(宽)×565(高)mm、66.0Kg(motor drive stage)隔膜泵145(长)×256(宽)×217(高)mm、4.5Kg
U1510扫描电子显微镜一、用途SU1510扫描电子显微镜主机宽度仅为55cm体型小巧,具有3.0nm分辨率的高性能可变压力扫描电镜。特点 1. 仪器主体比过去减小20%,可以更加自由地选择安装场地。 2. 标配低真空功能,可以对不导电进行无喷涂观察。高低真空转换一键完成。 3. 可载入*大直径153mm,高度为60mm(WD=15mm)的样品,并进行元素分析。 4. 强大的鼠标控制功能,可实现电镜的所有操作。 5. 分子泵真空系统,洁净无污染。二、技术规格项目内容二次电子分辨率3.0nm(高真空,30kV)背散射电子分辨率4.0nm(低真空:6Pa,30kV)倍率5~300,000X加速電圧0.3~30 kV样品台 X 0~80 mm Y 0~40 mm; Z 5~50 mm; T -20°~ 90°; R 360° 样品台控制手动(可选:2轴马达)*大载入样品尺寸直径:153 mm*大观察范围直径:126 mm(XYR并用)*大样品高度60 mm(WD=15 mm)低真空范围6-270Pa(从菜单设定)灯丝预对中钨灯丝物镜光阑4孔可变光阑枪偏压固定比例偏压、手动偏压和自动4偏压检测器二次电子检测器,高灵敏度半导体背散射电子检测器EDX分析位置WD=15,TOA=35°真空系统分子泵1台,机械泵1台安全措施停电,漏电,自动保护