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U1510扫描电子显微镜

一、用途

SU1510扫描电子显微镜主机宽度仅为55cm体型小巧，具有3.0nm分辨率的高性能可变压力扫描电镜。

特点
　　

1. 仪器主体比过去减小20%，可以更加自由地选择安装场地。

2. 标配低真空功能，可以对不导电进行无喷涂观察。高低真空转换一键完成。

3. 可载入＊大直径153mm，高度为60mm(WD=15mm)的样品，并进行元素分析。

4. 强大的鼠标控制功能，可实现电镜的所有操作。

5. 分子泵真空系统，洁净无污染。

二、技术规格

项目	内容
二次电子分辨率	3.0nm（高真空，30kV）
背散射电子分辨率	4.0nm(低真空：6Pa，30kV）
倍率	5～300,000X
加速電圧	0.3～30 kV
样品台	X 0～80 mm
	Y 0～40 mm；
	Z 5～50 mm；
	T -20°～ 90°；
	R 360°
样品台控制	手动（可选：2轴马达）
＊大载入样品尺寸	直径：153 mm
＊大观察范围	直径：126 mm（XYR并用）
＊大样品高度	60 mm（WD=15 mm）
低真空范围	6-270Pa(从菜单设定)
灯丝	预对中钨灯丝
物镜光阑	4孔可变光阑
枪偏压	固定比例偏压、手动偏压和自动4偏压
检测器	二次电子检测器，高灵敏度半导体背散射电子检测器
EDX分析位置	WD=15,TOA=35°
真空系统	分子泵1台，机械泵1台
安全措施	停电，漏电，自动保护

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