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TM3030 型扫描电子显微镜

一、用途

Hitachi TM3030型扫描电子显微镜(SEM)向来被广泛用于生物、材料、化学、物理等各种不同领域的表面观察和分析。但是由于SEM的局限性，使用者需要花费大量时间在样品制备和电镜的操作上。

为此，日立在原有的，已受到广泛好评的TM-1000的技术上，精益求精，研发出结构更紧凑、功能更齐备、操作更简便的TM-3000台式扫描电子显微镜。通过简单的操作，即可达到观察微观世界的目的。

二、技术规格

项目	内容
放大倍率	15X～30,000X(数字放大：2X、4X)
观察模式	标准模式、减轻荷电模式、大束流分析模式
图像模式	形貌像、成份像、阴影像1、阴影像2、凹凸像
电子光学系统
电子枪	预对中发夹型钨灯丝
加速电压	5kV、15kV 、EDX
透镜系统	3级电磁式透镜会聚系统
电位移	±50μm (WD=4.5mm、观察条件：标准模式)
能谱分析位置	WD=10mm, TOA=35°
样品台
样品台控制	2轴手动样品台
样品可移动范围	X：±17.5mm、Y：±17.5mm
*大样品尺寸	直径70mm
*大样品厚度	50mm
检测器	高灵敏4分割半导体背散射电子检测器
真空系统
自动控制系统	全自动气动阀控制系统
*高真空度	1.5×10-5Pa
可变真空度	6~270Pa(22steps)
涡轮分子泵	30L/s 1台
隔膜泵	1m3/h 1台
真空计	1台
自动功能
自动灯丝饱和	已配备
自动电子束设定	已配备
自动电子枪对中	已配备
自动合轴	已配备
自动聚焦、消像散	已配备
自动亮度、对比度	已配备
自动保护功能	带有过电流保护功能、漏电遮断器
计算机控制系统
操作系统	Microsoft Windows® 7
CPU	Intel® CoreTM2 Duo P8700(或与其兼容的PC)
内存容量	2GB以上
接口与端子	USB2.0接口(2个)、网路接口(以太网)
观察	15.4英寸LCD；屏幕分辨率1280×800像素
控制	鼠标、键盘
扫描速度
TV扫描	640×480象素显示，25帧/秒
快速扫描	全屏显示，6.3帧/秒
慢速扫描	全屏显示，1/4/20/40/80秒/帧 640×480像素显示，0.5/2/10/20/40秒/帧
图像数据存储
图像存储像素	640 × 480、1,280 × 960像素
图像数据保存	PC带硬盘及其他记录媒体
图像存储格式	BMP、TIFF、JPEG
图像信息	微标尺、微值、放大倍率、日期、时间、图像编号、注释、观察条件、观察模式、图像模式、工作距离
辅助功能	图像旋转、简单测量、三维动画维护指南
使用环境
室温	15°C ～30°C
相对湿度	40%～70%
电源	单相AC100～240V(低90V、高250V) 50/60Hz、3P插座
地线	D类接地，电阻小于100Ω
体积与重量
主机	330(长)×606(宽)×565(高)mm、63.0Kg(manual stage) 330(长)×630(宽)×565(高)mm、66.0Kg(motor drive stage)
隔膜泵	145(长)×256(宽)×217(高)mm、4.5Kg

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上海彼爱姆（BM）光学仪器制造有限公司是继于具有五十年光学仪器制造的企业上海光学仪器厂（上光）。在机制改革成熟和进入WTO适应国际市场开拓发展新概念的基础上，优化组建成BM公司。BM云集了有四十多年从事光学科技研制的老一辈工程技术人员，具有多年来与德、日、俄等国外同行合作开发研制的经验。有雄厚的技术力量，是老“上光”的深化和延续。具有现代科学管理体制的光、机、电、智能化综合型光学仪器制造的专业企业。